PlascoTRIB/ Antriebsbänder für Wafer-Handling-Roboter - Präzision, Beständigkeit und Sauberkeit

Metallische Antriebsbänder für Wafer-Handling-Roboter – Hohe Positioniergenauigkeit, dauerbeständig in extremen Umgebungen, kein Ausgasen, minimierte Partikelgeneration und Vermeidung von Mikro-Fretting

Stahlbänder werden immer häufiger als Präzisionskomponenten in anspruchsvollen Antriebssystemen verwendet (Antriebsbänder). Sie kommen immer dann zum Einsatz, wenn hohe Ansprüche an chemische Beständigkeit, Positioniergenauigkeit, Sauberkeit und minimierten Abrieb gestellt werden. Daher bestehen diese Antriebsbänder in der Mehrzahl aller Fälle aus speziellen Edelstahllegierungen, um diese Anforderungen zu erfüllen.
Bei vielen Applikationen, wie z.B. bei Vakuumrobotern für das Halbleiter-Wafer-Handling treten jedoch immer noch Probleme auf. Da aufgrund der Umgebungsbedingungen keine Schmiermittel verwendet werden dürfen, kommt es nicht selten zu vorzeitigem Verschleiß durch Fretting . Die Folgen sind Bandabrieb, oftmals verbunden mit Oxidation der metallischen Partikel und der dann „frisch“ exponierten Bandoberflächen. Da die oxidierten Partikel in der Regel wesentlich härter als die partikelabgebenden Oberflächen sind, kommt es zu einer verstärkten Abrasion und einem verstärkten Fretting. Im Ergebnis wird die Lebensdauer der Metallbänder drastisch reduziert und letztendlich die Einsatzfähigkeit der Roboter deutlich eingeschränkt. Ein unerwünschter zusätzlicher Effekt des Fretting ist die mögliche Kontamination beim Halbleiter-Wafer-Handling.

Mit dem Einsatz von PlascoTRIB beschichteten metallischen Antriebsbändern können diese Probleme vermieden werden. PlascoTRIB dient dabei als extrem harte Trockenschmierungsschicht mit einem sehr niedrigen Reibkoeffinzienten. Kontakterosion und Fretting werden so erfolgreich minimiert bzw. auch langzeitstabil unterdrückt. Trotz der hohen Härte verfügt PlascoTRIB über die notwendige mechanische Flexibilität, um auch bei kleinsten Biegeradien (< 5mm) nicht zu delaminieren. In der industriellen Praxis konnte die Lebensdauer eines Scara-Roboter-Antriebssystems um ein Vielfaches gesteigert werden. Typisch war die Steigerung der MTBF („mean time between failure“) von 500.000 Bewegungszyklen auf über 4.000.000 – eine Steigerung um den Faktor 8!


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